白光干涉仪

产品用途

结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微镜与干涉仪，不需要复杂光路调整程序，兼顾体积小、纳米分辨力、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。

产品特点

1.奈米深度3D检测

2.高速/无接触量测

3.表面形状/粗糙度分析

4.非透明/透明材质皆适用

5.非电子束/非雷射的安全量测

6.低维护成本

7.系统硬件搭配lmgscan前处理软件自动解析白光干涉仪条纹

8.垂直高度可达0.1mm

9.高速的分析算法，让您不再苦候测量结果

10.垂直扫描范围的设定轻松以容易

11.有10X、20X、50X、倍率的物镜可供选择

12.平台X、Y、Z、位置数字式显示，使检测目标寻找快速又便利

13.具有手动/自动光强度调整功能以取得******的干涉条纹对比

14.具有高精度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择

15.具有专利的解析算法可处理半透明物体的3D形貌

16.具有自动补点功能

17.可自行设定扫描方向

产品参数

1.产品型号：AE-100M

2.移动台（mm）：平台尺寸100*100 行程13*13

3.物镜倍率：10倍

4.观察与测量范围（mm）：0.43*0.32

5.光学分辨率（um）：0.92

6.收光角度（Degrees）：7.4

7.传感器分辨率：640*480像素

8.Z轴移动范围(mm）：45 手动细调

9.Z轴位置数字显示器：分辨率1um

10.倾斜调整平台：双轴/手动调整

11.高度测量范围（um）：100

12.量测分辨率（nm）：0.1

13.测量控制：自动

14.扫描速度（um/s）：12（最高）

15.光源：卤素冷光源

16.光强度调整：自动/手动

以上参数仅供参考，如需要详细了解请联系客服，以便为您提供更专业的资料以及测量服务