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自动测量金相显微镜

自动测量金相显微镜是一种结合了金相显微镜的高倍观察能力和影像仪的X、Y、Z轴表面尺寸测量功能的高精度、高效率自动测量仪器。适于芯片、晶圆、光纤、光器件、液晶面板、3D玻璃等,对测量精度要求较高且需自动化批量测量的行业,既可作高倍率观察也可做高精度测量,尤其适于晶圆切割、晶粒粘贴、焊线和外观检测(外引脚的平整性、共面度、脚距)等行业。

主要特点

强大的编程功能,可批量测量。

◎配置操纵手柄,亦可软件程控,完成工作台快速移动。

◎X、Y、Z轴伺服控制,定位精度高、速度快

◎固定式玻璃工作台及大理石平台底座,稳定性好,承载量大,精度高,可测量较大、较重零件而不影响仪器精度。

◎进行高速测量,提高测量效率。

选用高清品牌相机,搭载soptop高端金相系统,整体成像清晰无闪烁,视场开阔。

测量精度在同类设备中最高,视场内精度最高可做到1μm,重复精度最高可达0.5μm。

物镜可切换多种倍率:5X,10X,20X,50X(选配)100X(选配),最高综合倍率最高可达2000倍以上。

○单视野范围内测量精度±1μm,重复精度±0.5μm 加装光谱共焦位移传感器可测高度、深度、平面度,测量精度±1μm。

○可选配超长工作距离APO物镜。

○标配反射和透射LED可程控光源或非程控卤素光源。利用可变孔径光阑,可进行无衍射观察测量。○可根据客户需求,订制各种尺寸工作台,目前******行程可做3000*2000mm,最小行程可做50*50mm工作台。

○可快速释放平台,便于在大工件测里或者多产品测量时快速移动工作台。

○有精调/微调两种模式,便于精确聚焦和观察测量,快速定位焦面。

○显示分辨率最高可做到0.00005mm。

○可根据客户要求加配激光测头,各种规格摄像机以及更高精度光栅等(光尺最高选配0.01μm)。

○自主研发金相量测软件,页面简洁大气,操作方便易上手,更具有自动抓边,编程测量等功能,可适高精度的复杂工件测量。

○测量数据支持读取处理,便于客户建立测量数据管理系统,对接内部ERP系统,从而帮助客户提升制造信息化,智能化水平。


  参数            型号           TMC3207
测量范围XYZ三轴量程(mm)         300X200X700
外形尺寸(mm)         900X644X1600
玻璃台面尺寸(mm)          375×275
台面承重(kg)              25
仪器净重(kg)             240
光学影像及测量系统光学系统 无限远平场消色差金相显微光学模组(3目)
金相显微物镜倍率        5X、10X、20X
视频总放大倍率        241.5X-964X
双目目镜倍率 标配10X目镜(视场数φ22mm),也可选配20X目镜
目 镜 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可视度可调,可带测微尺。
转换器  内定位5孔转换器/内定位明暗场5孔转换器。
物镜放大倍数 5X/10X/20X/50X(选配)/100X(选配)
测量显微镜主体手动测量平台,样品******高度100(可定制加高,带任意可调上下限位;
 测量精度X和Y:(2+L/200)um,L为测量长度(单位mm),Z轴重复定位精度:50倍下±1um
照明系统 明略场反射照明器,带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽,同轴光源
  5WLED暖光;透射光源:5WLED冷光;亮度均可调。
 辅助对焦模块,带对焦分划板两档,带绿光5MLED灯源组(含100V-240V宽电国)
调焦方式按键式快速升降
摄影摄像接口0.5XCTV,采用C型接口,可调焦,带锁紧装置
测量软件        TMCVISION
其他选配件  标定片:50X物镜;100X物镜;0.65XCTV光谱共焦位移传感器;激光位移传感器;
  自动变倍金相显微镜模组等
图像传感器  500万像素高清彩色数字相机
  示值误差(um)单视野  ±1;XY行程范围:2.5+L/200
  重互端度(um)单视野     ±0.5;XY行程范围:2.5
XYZ栅分辨力(μm)                0.5

工作电源AC200240V50/60HZ,50W(注需要电阻≤4Q接地线)

工作环境温度20±2℃,湿度30%-80%振动<0.002g,低于15Hz,远离震源