G系列高精度影像测量仪
产品简介
G系列专为光通信行业定制机型，兼顾常规领域全自动测量与半导体高倍率显微检测，可覆盖光模块关键尺寸、晶圆厚度、COB贴装位置、BGA球阵列共面性等测量需求。
主要特点
- 测量精度达1.5um，搭载0.1um高精度光栅尺，满足严苛工业精密检测需求;
- 自动变倍镜头光学放大16倍、影像最大放大920倍，2秒极速自动对焦,检测效率大幅提升;
- 进口全局彩色CMOS传感器，大视野成像;智能图像匹配与柔性寻边算法，自动取样、参数灵活配置;
- FEA有限元优化花岗岩机身，三轴伺服传动+CNC控制系统，定位精准，加速度最高1000mm/s;
- 三路独立程控LED光源，256级亮度可调，适配各类工件轮廓打光;
- 自研iVision测量软件，兼容多传感器，可对接MES系统与自动化机器人。
规格型号
| 仪器型号 | TMC-323G | TMC-433G | |
|---|---|---|---|
| 行程(mm) | X:300Y:200 Z:300 | X:400Y:300 Z:300 | |
| 仪器外形尺寸(LxWxH)(mm) | 1100x760x1850 | 1300x860x1850 | |
| 包装尺寸(LxWxH)(mm) | 1600x1400x2150 | 1600x1400x2150 | |
| 重量(kg) | 净重 | 480 | 540 |
| 毛重 | 600 | 680 | |
| 承重(kg) | 最大承重 | 30 | |
| 保证精度承重 | 5 | ||
| 测量精度 | EuX/EuY,MPE(u m) | ± (1.2+L/200) | |
| EuXY.MPE(u m) | ± (1.5+L/200) | ||
| EuZ,MPE(u m) | ± (1.5+L/200) | ||
| MPE,P2D(u m) | 1.2 | ||
| MPE,PV(u m) | 0.8 | ||
| MPE,PZ(u m) | 0.5 | ||
| 最大速度 | XY轴(mm/s) | 200 | |
| Z轴(mm/s) | 150 | ||
| 最大加速度 | XY轴(mm/s) | 1000 | |
| 光栅尺(mm) | 0.1 | ||
| 最小显示单位(mm) | 0.1 | ||
| 导轨 | 三轴精密导轨 | ||
| 图像传感器 | 全局彩色，高清工业数字相机 | ||
| 光源 | 轮廓光 | LED远心平行冷光源，256级亮度可调 | |
| 表面光 | 程控5环8区LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 光学镜头 | 13.3:1连续变倍 | ||
| 放大倍率 | 光学倍率 | 1.2-16倍 | |
| 总放大倍率 | 70-920倍 | ||
| 工作距离(mm) | 镜头工作距离 | 35+2 | |
| 有效工作距离 | 30+2 | ||
| 视场(mm) | 0.47x0.35x0.59-6.25x4.67x7.84 | ||
| 影像测量软件 | ivision | ||
| 运动控制 | 4轴CNC伺服控制 | ||
| 操作手柄 | 智庭专用操作手柄 | ||
| 附件 | 出厂检验报告、装箱清单、用户手册、合格证、产品保修卡、L型定位治具 | ||
| 电源要求 | AC200-240V.50/60Hz,750W(注:需有电阻≤4Q接地线) | ||
| 工作环境 | 温度20士2°C.湿度30%-80%.振动<0.002g.低于15Hz.远离振源 | ||
