Z系列高精度影像测量仪
产品简介
Z系列全自动超高精度通用机型，极限测量精度达0.8um，技术对标进口品牌，适配五金、半导体、航空航天等多行业的高精度尺寸测量与质量管控场景。
主要特点
- 超高测量精度，X/Y轴测量精度可达±(0.7+L/200)um，极限精度0.7um;
- 高变倍比连续自动变倍镜头，光学放大倍率1.2X-16X，选配拓展后影像倍率最高可达5600X;
- 1.5秒超快高精度自动对焦，高倍率下对焦重复精度≤1um。支持多点同时自动对焦;
- 搭载日本索尼高性能CMOS传感器，200万像素全局曝光彩色工业数字相机;
- AI人工智能寻边技术，可智能识别复杂弱特征，减少人工操作，消除人为测量误差;
- 整体花岗岩机身结构，经FEA有限元受力分析，保障设备长期性能稳定可靠;
- 标配表面环形光、透射轮廓底光、同轴光，所有光源均支持程控亮度调节;
- 三轴标配0.01um分辨率高精度光栅尺，最小计数显示单位可达0.001um;
- 全闭环CNC运动控制系统+专用伺服电机+超精密直线导轨，定位精准，支持飞拍超快速测量;
- Z轴标配300mm大行程，为产线自动化集成预留充足空间，无需额外付费定制;
- 自主研发iVision专业测量软件，拥有完整知识产权，支持多类传感器兼容、CAD导入、SPC统计分析，可对接企业MES系统。
规格型号
| 仪器型号 | TMC-323Z | TMC-433Z | |
|---|---|---|---|
| 行程(mm) | X:300Y:200Z:300 | X:400Y:300Z:300 | |
| 仪器外形尺寸(LxWxH)(mm) | 1100 × 760 × 1850 | 1300 × 860 × 1850 | |
| 包装尺寸(LxWxH)(mm) | 1600 × 1400 × 2150 | 1600 × 1400 × 2150 | |
| 重量(kg) | 净重 | 480 | 540 |
| 毛重 | 600 | 680 | |
| 承重 | 最大承重 | 30 | |
| 保证精度承重 | 5 | ||
| 测量精度 | EuX/EuY/MPE(μm) | ± (0.7 + L/200) | |
| EuY,MPE(μm) | ± (0.8 + L/200) | ||
| EuZ,MPE(μm) | ± (2.8 + L/150) | ||
| MPE, P2D (μm) | 1.2 | ||
| MPE, PV (μm) | 0.8 | ||
| MPE, PZ (μm) | 0.5 | ||
| 最大速度 | XY轴 200 mm/s | 200 | |
| Z轴(mm/s) | 150 | ||
| 最大加速度 | XYZ(mm/s²) | 1000 | |
| 光栅尺(mm) | 0.1 | ||
| 最小显示单位(mm) | 0.1 | ||
| 导轨 | 三轴精密导轨 | ||
| 图像传感器 | 全局彩色，高清工业数字相机 | ||
| 光源 | 轮廓光 | LED远心平行冷光源，256级亮度可调 | |
| 表面光 | 程控5环8区LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 同轴光 | LED冷光源，256级亮度可调 | ||
| 光学镜头 | 13.3:1 连续变倍 | ||
| 放大倍率 | 光学倍率 | 变倍镜头:1.2-16倍显微镜头:50倍 | |
| 总放大倍率 | 变倍镜头:70-920倍显微镜头:3374倍 | ||
| 工作距离(mm) | 镜头工作距离 | 变倍镜头:35*2显微镜头:13 | |
| 有效工作距离 | 变倍镜头:35*2显微镜头:13 | ||
| 工作环境 | 温度20±0.5°C，温度梯度0.5°C/h，1°C/24h湿度30%-80%振动<0.002g，低于15Hz/VC-C | ||
